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センサーデバイス

Japanese (JP)
You are here:   Homeセンサー真空計・センサーHPM-2002 デュアル型

デュアルセンサー真空ゲージ HPM-2002 シリーズ

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HPM-2002

デュアル・センサー型 真空計


HPM-2002シリーズ、デュアル・センサー型真空計は、単一チューブにそれぞれ2種類の長所を生かしたセンサーを結合。幅広い測定範囲を有し、パネルマウントもしくはセンサーマウントのどちらにも利用可能。パネルはマイクロプロセッサベースの表示部、ゲージ管、および相互接続ケーブルで機器をマウントです。2つの検出素子(マイクロ機械加工ピラニとピエゾ抵抗センサー)、1 X10-4〜1000トルの圧力の7十年にわたって正確な真空測定を提供します。マイクロプロセッサに常駐しているアルゴリズムは、センサー間のシームレスな移行を保証します.

センサーマウントHPM-2002-OBEは、ゲージのバージョンをマウントされたシステムです。 HPM-2002-OBEは12信号出力オプションの選択とコンパクトな構成で2002シリーズのパフォーマンス機能のすべてを提供します.


Award Winning

測定圧力範囲 : 0.0001 Torr - 1000 Torr

(0.1 mTorr - 1000 Torr)

単一のチューブにピラニとピエゾが結合

自動クロスオーバー・キャリブレーション

任意の方向に取り付け可能

迅速な動的応答時間

小型で堅牢な設計

リニア型の出力信号

HPM-2002-OBE

デュアルセンサー型真空計 2002 シリーズ は、”R&D100”において大賞を受賞いたしました

 

 

真空計・選定チャート

 

 

 

ヘイスティング社の偉大な足跡

 

人類最初の月面着陸ミッション、アポロ11計画 (1968年)において、“MOON ROCK月の石”を収納する特殊ケース内の真空度測定に、ヘイスティング社の真空計が採用されました。そしてヘイスティングの真空測定センサが装備されたそのケースは、宇宙飛行士により“月の石”を収管して、無事に月面から地球まで帰還しました。

今日、テレダイン・ヘイスティング社は、大気圧から超真空圧力範囲まで。そして研究・開発での製品評価の簡易計測から、規格に沿った最終認証試験まで、皆様の様々なニーズに対応する最適なシステム・製品をご提供します。

 

 

 

アプリケーションと産業


半導体ウェーハのエッチング

真空蒸着チャンバー

ロードロック機構

プラズマコーティング

プロセス制御と評価


 



 

技術仕様

ベンチトップ / パネルマウント

HPM ​2002

センサーマウント

HPM-2002 OBE

測定圧力範囲

​0.0001 - 1000 Torr

(0.1 m​Torr - 1000 Torr)

​0.0001 - 1000 Torr

(0.1 mTorr - 1000 Torr)

​​測定精度

​+/- 1.5% of Reading 50 - 1000

+/- 20% of Reading 0.001 - 50 Torr

​+/- 1.5% of Reading 50 - 1000 Torr

+/- 20% of Reading 0.001 - 50 Torr

センサー種別: ピエゾ抵抗式 (ガス組成による)

​Piezoresistive: 32 - 1000 Torr

​​Piezoresistive: 32 - 1000 Torr

センサー種別: 熱伝導、定温度式 (ガス組成による)

​Micromachined Pirani: 0.0001 - 8 Torr

​​Micromachined Pirani: 0.0001 - 8 Torr

​Microprocessor calculated weighted average between 8 and 32 Torr

​​​Microprocessor calculated weighted average between 8 and 32 Torr

センサーパーツ

​(Sold Separately)

1/8" NPT (STD)

1/4" VCR

1.33 Conflat Flange

2.75 Conflat Flange

KF-16

KF-25

1/2" OD Smooth Tube

1/2" VCR

​(Included)

1/8" NPT (STD)

1/4" VCR

1.33 Conflat Flange

2.75 Conflat Flange

KF-16

KF-25

1/2" OD Smooth Tube

1/2" VCR

表示

​3 Digit LED floating point mantissa plus 2 digit exponent

​4 Digit LED floating point

圧力単位

​Front Panel Selectable

Torr

mbar

Pa

​Specify when ordering

パネルカット

​1/4" DIN

W - 3.75"

H - 3.75"

標準出力

​Single Channel

Linear per decade (1.0 - 4.5 VDC)

​Dual Channel

Linear (0 - 10 VDC)

 

 

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター