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センサーデバイス

Japanese (JP)
You are here:   Homeセンサー真空計・センサーDV-5 サーモカップル

サーモカップル真空ゲージ DV-5 シリーズ

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DV-5

高品位・サーモカップル真空計


DV-5シリーズは、センサーヘッド構造がシンプル、小型、かつ堅牢なので、非常にコストパフォーマンスが高く、工業用に広く利用されています。また簡単にインストールでき、ゲージシステムは、ガスの密度に基づいて、真空圧力に熱電電圧を変換します。さらに、熱電対ゲージ管/センサは内部変圧器を使って補正電圧を発生させ、その周囲温度と温度変化率に完全な補償されます。

応用分野は、半導体製造、真空蒸着、凍結乾燥、冷凍空調機器、原子炉ガス消費量、真空圧力制御、大気汚染研究、石油化学産業、燃料電池研究など、国内納入実績も多岐に渡ります。



測定圧力範囲 : ​0.1 mTorr - 100 mTorr

高精度・熱電対真空計

小型、堅牢で汚染に強い構造

キャリブレーションの安定性

アナログ出力可能

テレダイン・ヘイスティングス社製、真空計は最も要求の厳しい条件下での卓越した安定性、精度、信頼性の高い真空度測定機器です。

当社は日本国内総代理店として、テレダイン・ヘイスティングス社の技術トレーニングを受けたスタッフが、機器の販売から校正サービスに至るまで、皆様の様々なご相談を承ります。

 

サーモカップル・真空計、圧力選定チャート


 

製品仕様 – DV-5 シリーズ

 

​​​​

​DV-5M


​DV-5R


​DV-5​S


バンド色

Red ​​ ​

寸法

​See Bulletin in Downloads Tab

​1/8" NPT フィッティング

​​

​​

​​​​

​1/4" VCR オスフィッテイング

​​

​KF-16 フィッティング

​KF-25 フィッティング

​Mini-CF フィッティング

保護キャップ

動作時の最高温度

​100oC

​150oC

最大正圧値

​150 PSIG

​400 PSIG

密封されたガラスベース

​​

​​

ステンレススチール

ステンレススチール

(ニッケルメッキ)

​​

​​

​​​​

 

選択可能なゲージ、メーターとコントローラ

DV-5シリーズ熱電対真空計チューブ/センサは、様々な用途で信頼性の高い、コスト効果的な測定を提供するためにDVシリーズの表示器や、各種コントローラとともに使用することができます。



 

 

表示器 /

コントローラ

​VT-5A


​CVT-25A


​DVT-5


DCVT-5


​HPM 4/5/6



​DAVC-5


測定範囲

0.1 - 100 mTorr ​ ​

表示

Reverse Motion Analog Needle ​ ​ ​ ​

​​Digital ​ ​

Setpoint (High/Low) Indicators​

圧力単位

Torr, mBar, PA ​

測定精度

​+(20% Reading + 0.2 mTorr) max ​ ​

外形寸法

​​​See Bulletin in Downloads Tab ​ ​ ​ ​

測定値出力

​​

​​​​​​​

​​​​​​​​​

​​​

制御

出力信号

​​​

​​​​​

​​

シリアル

通信規格

​​

​​

電源電圧

115 vac; 50/60 Hz current

​90-240 vac; 47-63 Hz, 2W

​90-250 vac; 47-63 Hz, 5W

9V Battery​

直流電圧

入力要件

4.5-5.3 VDC, 1.5W

​22-25 VDC, 5W

電源ケーブル

​​6 Feet 
​ ​

None​

1.5 m​

真空センサ

ケーブル

​8 Feet ​ 
​ ​ ​

Extends to 13 Feet​

​8 Feet - other lengths available

質量

1.3 Lb.

​​1.5 Lb.

​0.5 Lb.

​0.7 Lb.

​4.2 oz.

​キャビネット

バージョン (B)

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​​​

 

NIST リファレンス・チューブ


ゲージ管を交換する場合には、そのプロセス停止時間を最小限に減少させます。ゲージ管またはコントローラは再キャリブレーションを必要としません。お客様が測定値の表示/制御の性能を確認するためにNISTトレーサブルなDB-18リファレンス・チューブを利用して再校正が可能です。尚、ゲージ管は窒素または大気にて校正されていますが、他ガスの換算係数も工場から入手可能です。



 

アプリケーションと産業


半導体製造プロセス

照明設備・装置

プラズマコーティング

真空蒸着技術

研究開発における製品評価

 

測定制御、表示、フィッティング、リレーおよび出力オプションと、幅広いオプション製品にて、皆様の様々なアプリケーションをサポートすることができます。​


 

 

ヘイスティング社の偉大な足跡

 

人類最初の月面着陸ミッション、アポロ11計画 (1968年)において、“MOON ROCK月の石”を収納する特殊ケース内の真空度測定に、ヘイスティング社の真空計が採用されました。そしてヘイスティングの真空測定センサが装備されたそのケースは、宇宙飛行士により“月の石”を収管して、無事に月面から地球まで帰還しました。

今日、テレダイン・ヘイスティング社は、大気圧から超真空圧力範囲まで。そして研究・開発での製品評価の簡易計測から、規格に沿った最終認証試験まで、皆様の様々なニーズに対応する最適なシステム・製品をご提供します。

熱電対デジタル真空計 ゲージチューブ/センサ

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター