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センサーデバイス

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MID 熱式・流量センサ

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熱式・流量センサ - 立体形成回路 (3D-MID)


Miniaturized thermal flow sensor for small volume flow rates



Thermal flow sensors are perfectly suited for measuring low differential pressures because they have a good zero point stability and their highest sensitivity is with a low flow velocity. In contrast, diaphragm pressure sensors work with a square characteristic curve which shows the least sensor sensitivity at low pressure of around zero. The use of a thermal flow sensor for measuring low differential pressures has the potential to reduce the costs to a tenth of what they would be with a pressure sensor system.

The MID flow sensor can be used as a flow and a differential pressure sensor both in bypass mode and in direct operation. It provides a high level of accuracy with, at the same time, low power consumption (<12 mW). The maximum volume flow rate in direct operation is 10 ml/min for air. The standard sensor achieves this volume flow rate with a differential pressure of 3 mbar. With the SMD/MID concept a highly integrated and extremely precise sensor, which at the same time is easy to handle, has been created for electronic components. The sensor provides an analogue output signal of up to approx. 15 mV.

 


Benefits:

• Extreme miniaturization

• Produced as SMD

• OEM version for easy integration in existing systems

• Customized housing and chip design

• Characterization for further media possible

• High reproducibility

• High sensitivity

• Applicable in direct operation or as bypass

• Low energy consumption

• Rapid response time

• Minimal heat build-up of measurement medium

• Very good value for money

Applications:


Automotive

Household appliances

Medical technology

Measuring instruments

Environmental technology

Specifications

Medium

Air

Measurement Range

±3m/s

Dimensions

12 mm x 10mm x 6mm

Hose Connector

<0,2mm, Distance 4,1mm

Sampling Rate

< 10 Hz

Medium Temperature

0 bis 70°C

Storage Temperature

-40 bis 85°C

Output Signal (Difference)

±15mV

Power Consumption

<10mW

Response Time

<10ms

Max. Flow Rate (Direct)

±10ml/min

Settling Time

< 1s

Variants

on request

 

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター