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センサーデバイス

Japanese (JP)
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DIGITAL 300 シリーズ

高精度・マスフローコントローラ/メーター


 

 

 

HFM-D-300A / HFC-D-302A

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すべての金属、高速応答、タイトな精度! マスフロー技術は、信頼性、反復可能、正確なガス流量測定を提供します。


HFM-D-300A / HFC-D-302A質量流量計は、0-5 sccmから0-25 slmの流量範囲を持ちます。 すべての金属シールを使用し、アナログおよびデジタル出力を提供し、ステンレス鋼で作られています。 Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して、簡単で使いやすいデジタル通信。


センサ、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。 また、バルブが閉じられたときを検出して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能があります。 これらの質量流量計およびコントローラは、異なる範囲およびガスの最大10の較正を格納することができる。 もう1つの機能は、ユーザが設定した条件でガスの使用状況を監視するためのトータライザ内蔵です。

 


± (0.5% of reading + 0.2% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

漏洩検査

薄膜蒸着

高純度ガス供給

熱火炎スプレー

ガスブレンド

製薬プロセス

 

HFM-D-300A Meter

HFC-D-302A Controller

​Range

0 - 5 sccm to 0 - 25 slm (N2)

​0 - 5 sccm to 0 - 25 slm (N2)

Accuracy

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

​Repeatability

+ 0.15% of F.S.

+ 0.15% of F.S.

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

​​500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

Settling Time

Typically <1 seconds

​Typically <1 - 2 seconds

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

​​0 - 10 VDC, 0 - 20 mA, 4 - 20 mA

​​​​​0 - 10 VDC, 0 - 20 mA, 4 - 20 mA

Digital I/O (Standard)

​RS-232, RS-485

​​RS-232, RS-485

Analog Connector

15-pin subminiature D

​15-pin subminiature D

​Digital Connector

Dual RJ-12

Dual RJ-12

Power Requirements

​​11 - 36 VDC @ 3.1 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. +15 VDC, +12 VDC)

​​​11 - 36 VDC @ 6.7 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. +15 VDC, +12 VDC)

Wetted Materials

​316L SS, Nickel 200, 304 SS, 302 SS

​​316L SS, Nickel 200, 302 SS, 304 SS, Kalrez® (Valve Seat)

 

 

HFM-D-301A / HFC-D-303A

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HFM-D-301A / HFC-D-303A質量流量計の流量範囲は0〜25 slm〜0〜1000 slmです。 アナログ出力とデジタル出力を提供し、ステンレス製です。 Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して、簡単で使いやすいデジタル通信。 柔軟性を最大限にするために、さまざまなエラストマーシールが用意されています。

 


 

​​± (0.5% of reading + 0.2% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

漏洩検査

薄膜蒸着

高純度ガス供給

熱火炎スプレー

ガスブレンド

製薬プロセス


HFM-D-301A Meter

HFC-D-303A Controller

​Range

(L): 0 - 25 slm to 0 - 300 slm (N2)
(H): 0 - 1000 slm to 0 - 3000 slm

(L): 0 - 25 slm to 0 - 300 slm (N2)
(H): 0 - 1000 slm to 0 - 3000 slm

Accuracy

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

​Repeatability

+ 0.15% of full scale

+ 0.15% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

​​500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

Settling Time

Typically <1 seconds

Typically <1 - 2 seconds

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

0 - 10 VDC, 0-20 mA, 4 - 20 mA

0 - 10 VDC, 0-20 mA, 4 - 20 mA

Digital I/O (Standard)​

​RS-232, RS-485

​​​RS-232, RS-485

​Analog Connector

​15-pin subminiature D

​​​15-pin subminiature D

​Digital Connector

​Dual RJ-12

​​​Dual

J-12

Fittings

Surface Mount, Swagelok®, VCO, VCR, NPT​

Surface Mount, Swagelok®, VCO, VCR, NPT​​

Power Requirements

11 - 36 VDC @ 3.1 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. + 15, + 12 VDC)

11 - 36 VDC @ 3.1 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. + 15, + 12 VDC)

Wetted Materials

​316L SS, Nickel 200, 304 SS, 302 SS

​316L SS, Nickel 200, 304 SS, 302 SS, Kalrez® (Valve Seat)

 

 

HFM-D-305A / HFC-D-307A

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HFM-D-305A / HFC-D-307A質量流量計は0-1000slmから0-2500slmの流量範囲を有する。 アナログ出力とデジタル出力を提供し、ステンレス製です。 Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して、簡単で使いやすいデジタル通信。 柔軟性を最大限にするために、さまざまなエラストマーシールが用意されています。

 


 

± (0.5% of reading + 0.2% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

ガス配送

ファイア・ダイナミクス

研究開発

プロセスガス

 

HFM-D-305A

Meter

HFC-D-307A

Controller

​Range

0 - 1000 slm

to

0 - 2500 slm

0 - 1000 slm

to

0 - 2500 slm

Accuracy

+ (0.5% of reading

+ 0.2% of full scale)

+ (0.5% of reading

+ 0.2% of full scale)

​Repeatability

+ 0.15% of full scale

+ 0.15% of full scale

Maximum Working

Pressure

500 PSIG

​​500 PSIG

​Settling Time

​Typically <1 Seconds

​Typically <1-2 Seconds

Analog I/O

(Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O

(Optional)

0 - 10 VDC

0-20mA

4-20 mA

0 - 10 VDC

0-20mA

4-20mA

Digital I/O

(Standard)​

​RS-232

RS-485

​​​RS-232

RS-485

​Analog Connector

​15-pin

subminiature D

​​​15-pin

subminiature D

​Digital Connector

​Dual RJ-12

​​​Dual RJ-12

Fittings

Surface Mount

Swagelok®

VCO, VCR, NPT

Surface Mount

Swagelok®

VCO, VCR, NPT

Power

Requirements

11-36 VDC

@ 3.1 Watt (max)

Unipolar or Bipolar

(e.g. + 15 VDC

+ 12 VDC)

11-36VDC

@ 3.1 Watt (max)

Unipolar or Bipolar

(e.g. + 15 VDC

+ 12 VDC)

Wetted

Materials

​316L SS

Nickel 200

304 SS, 302 SS

​316L SS

Nickel 200, 304 SS

302 SS

Kalrez® (Valve Seat)

 

HFM-D-306A / HFC-D-308A

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HFM-D-306A / HFC-D-308A質量流量計は0-2500slmから0-10000slmの流量範囲を有する。 アナログ出力とデジタル出力を提供し、ステンレス製です。 Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して、簡単で使いやすいデジタル通信。 柔軟性を最大限にするために、さまざまなエラストマーシールが用意されています。

 


 

 

± (0.5% of reading + 0.2% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

代替エネルギー

燃料電池の研究開発

保管転送

 

HFM-D-306A Meter

HFC-D-308A Controller

​Range

0 - 2500 slm to 0 - 10000 slm

0 - 2500 slm to 0 - 10000 slm

Accuracy

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

​Repeatability

+ 0.15% of full scale

+ 0.15% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG

​​500 PSIG

Seals

Viton® (Standard), Buna-N

Viton® (Standard), Buna-N

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

0 - 10 VDC, 0-20 mA, 4 - 20 mA

0 - 10 VDC, 0-20 mA, 4 - 20 mA

Digital I/O (Standard)​

​RS-232, RS-485

​​​RS-232, RS-485

​Analog Connector

​15-pin subminiature D

​​​15-pin subminiature D

​Dingial Connector

​Dual RJ-12

​​​Dual RJ-12

Fittings

Swagelok®

Swagelok®

Power Requirements

+ 12, + 15, + 124 VDC (11 - 36 VDC) 
6.7 W

+ 12, + 15, + 124 VDC (11 - 36 VDC) 
6.7 W

Wetted Materials

​316 SS, 302 SS, Ni 200, Viton® (Optional Buna-N®), PTFE

​316 SS, 302 SS, Ni 200, Viton® (Optional Buna-N®), Kalrez, PTFE

 

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター