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センサーデバイス

Japanese (JP)
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マスフローコントローラー 300 シリーズ

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300 シリーズ

高精度・マスフローコントローラ/メーター


 

 

 

HFM-300 / HFC-302

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すべてのメタル、高速応答、低流量! すべての金属HFM-300 / HFC-302は、Teledyne Hastingsの金属密閉高速応答シリーズのマスフローメーターとコントローラーです。 信頼性と安定性を特長とする300シリーズは、幅広い条件下でのOEMの迅速な対応により選択されています。


HFM-300 / HFC-302メータおよびコントローラは、0-5 sccmの流量範囲と0-25 slm流量範囲を持ちます。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、通常閉鎖バルブを有する。 フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 1000 psigまでの腐食性ガスと圧力は簡単に測定できます。 酸素サービスのためのクリーニングが利用可能です。

 


Accuracy

± (0.75% of full scale 5 sccm to 10 slm)

± (1.00% of full scale 10 slm to 25 slm)

 

アプリケーションと産業

 

漏洩検査

フレームスプレー

ガスブレンド

研究開発プロセスの流量

 

HFM-300 Meter

HFC-302 Controller

​Range 
(User Selectable)

0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)

​0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)

Accuracy

+ 0.75% of F.S. 5 sccm to 10 slm
+ 1.00% of F.S. 10 slm to 25 slm

+ 0.75% of F.S. 5 sccm to 10 slm
+ 1.00% of F.S. 10 slm to 25 slm

​Repeatability

+ 0.07% of full scale

+ 0.07% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

​​500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

Fitting Options

Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

​Connector

​15-pin subminiature D

​15-pin subminiature D

Power Requirements

​​+15 VDC @ 55 mA

​​+15 VDC @ 55 mA

Wetted Materials

​316L SS, Nickel 200, 302 SS

​316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (Valve Seat)

 

 

HFM-301 / HFC-303

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HFM-301 / HFC-303メータおよびコントローラは、0〜255 slmの流量範囲、0〜1000 slmの流量範囲を持ちます。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、通常閉鎖バルブを有する。 フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 HFM-301 / HFC-303は、エラストマーと高圧オプションの選択肢があり、幅広い用途に対応しています。 酸素サービスのためのクリーニングが利用可能です。

 


±1% of full scale Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

漏洩検査

フレームスプレー

ガスブレンド

半導体プロセス

薄膜蒸着

 

HFM-301 Meter

HFC-303 Controller

​Range 
(User Selectable)

(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
(H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N
2)

(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
(H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N
2)

Accuracy

+ 1% of full scale

+ 1% of full scale​

​Repeatability

+ 0.7% of full scale

+ 0.7% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1500 PSIG)

500 PSIG ​(Optional 1000 PSIG)

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4 - 20 mA I/O, 0 - 20 mA, 0 -5 VDC / 
4 - 20 mA I/O

4 - 20 mA I/O, 0 - 20 mA, 0 -5 VDC / 
4 - 20 mA I/O

​Seals

​Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

​​​Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

Fittings Option

Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT

​Connector

​15-pin subminiature D

​​​15-pin subminiature D

Power Requirements

+ 15 VDC @ 55 mA

+ 15 VDC @ 150 mA

Wetted Materials

​316L SS, Nickel 200, 302 SS

316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (Valve Seat), Teflon

 

HFM-305 / HFC-307

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早い反応! HFM-305 / HFC-307は、Teledyne Hastingsの高速応答型質量流量計とコントローラです。 信頼性と安定性を特長とする300シリーズは、幅広い条件で高速応答が得られるように設計されています。


HFM-305 / HFC-307メータおよびコントローラの流量範囲は0〜1000slm、0〜2500slmです。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、常時開または常閉弁のいずれかを有するように構成することができる。 フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 エラストマーと高圧オプションの選択により、HFM-305 / HFC-307は幅広い用途に対応します。 酸素サービスのためのクリーニングが利用可能です。

 


 

± 1% of full scale Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

ガスブレンド

研究

公害監視

研究開発とプロセス流量

 

HFM-305 Meter

HFC-307 Controller

​Range 
(User Selectable)

0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)

0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)

Accuracy

+ 1.0% of full scale

+ 1.0% of full scale

​Repeatability

+ 0.07% of full scale

+ 0.07% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG

​​500 PSIG

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

​Seals

​Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene​

Fitting Options

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

​Connector

​15-pin subminiature D

​15-pin subminiature D

Power Requirements

​​+15VDC @ 55 mA

​​+15VDC @ 150 mA​

Wetted Materials

​302 SS, 316 SS, Nickel 200

​​302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton®, Kalrez® (Valve Seat)

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター