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センサーデバイス

Japanese (JP)
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マスフローコントローラー 200 シリーズ

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200 シリーズ

高精度・マスフローコントローラ/メーター


 

 

 

HFM-200 / HFC-202

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HFM-200 / HFC-202は、Teledyne Hastingsのフレキシブルで一般的なマスフローメーターおよびコントローラーシリーズです。 信頼性と安定性を特長とする200シリーズは、様々な周囲条件で非常に安定した性能をOEMメーカーが選択しています。 エラストマーシールの幅広い選択肢により、この流量コントローラは大部分のガスと互換性があります。


HFM-200 / HFC-202メータおよびコントローラは、0〜10 sccmの流量範囲と0〜25 slm流量範囲を持ちます。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、通常閉鎖バルブを有する。 フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 1000 psigまでの多くの腐食性ガスおよび圧力が容易に測定されます。 酸素サービスのためのクリーニングが利用可能です。

 


±(1% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

エアーサンプリング

工業用ファーネス

ガスブレンド

研究開発プロセスの流量

分析機器

触媒特性

 

HFM-200A Meter

HFC-202 Controller

​Range 
(User Selectable)

0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)

​0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)

Accuracy

+ 1.0% of full scale

+ 1.0% of full scale

​Repeatability

+ 0.05% of full scale

+ 0.05% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

​​500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

Fitting Options

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

Elastomer Seal Options

Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

​Connector (+/- 15 VDC)
Connector (+24 VDC)

​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

Power Requirements (+/- 15 V)
Power Requirements (+24 V)

​​+(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 Watt)
(14-32) VDC (<1.9 Watt)

​​+(14 - 16) VDC @ +​ 60 mA / -185 mA (<3 Watt)
(14-32) VDC (<4.2 Watt)

Wetted Materials

​316L SS, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder

​​302 SS, 316L SS, Nickel, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder, Kalrez® (Valve Seat)

 

 

 

HFM-201 / HFC-203

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Teledyne Hastingsのフレキシブルで汎用性の高い質量流量計シリーズのHFM-201 / HFC-203は、さまざまなアプリケーションで質量流量を正確に測定して制御します。信頼性と安定性を特徴とする200シリーズは、変化する周囲条件で非常に安定した性能を発揮します。 エラストマーシールの幅広い選択肢により、この流量コントローラは大部分のガスと互換性があります。

HFM-201 / HFC-203メータおよびコントローラは、0-25 slmから0-1000 slmまでの流量範囲を持ちます。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、常時開または常閉のバルブで構成できます。フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 1000 psigまでの多くの腐食性ガスおよび圧力が容易に測定されます。酸素サービスのためのクリーニングが利用可能です。

 


±(1% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

フレームスプレー

漏洩検査

航空宇宙

多孔性研究

エアーサンプリング

 

HFM-201 Meter

HFC-203 Controller

​Range 
(User Selectable)

(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
(H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N
2)

(L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2)
(H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N
2)

Accuracy

+ 1% of full scale

+ 1% of full scale

​Repeatability

+ 0.05% of full scale

+ 0.05% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

500 PSIG ​(Optional 1000 PSIG)

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4 - 20 mA I/O, 0 - 20 mA, 0 -5 VDC / 
4 - 20 mA I/O

4 - 20 mA I/O, 0 - 20 mA, 0 -5 VDC / 
4 - 20 mA I/O

Fittings Option

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT

​Connector (+/- 15 VDC)
​Connector (+ 24 VDC)

​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

​​​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

Power Requirements (+​ 15V)
Power Requirements (+​ 24V)

+ (14 - 16) VDC @ +30 mA (<1 Watt)
(14 - 32) VDC (<1.9 Watt)

+ (14 - 16) VDC @ +​60 mA / -185 mA (<3 Watt)
(14 - 32) VDC (<4.2 Watt)

Wetted Materials

​316L SS, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder

302 SS, 316 SS, Nickel, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder, Kalrez® (Valve Seat)

 

HFM-205 / HFC-207

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優れた安定性! Teledyne Hastingsのフレキシブルで汎用性の高い質量流量計シリーズのHFM-205 / HFC-207は、さまざまなアプリケーションの質量流量を正確に測定して制御します。 信頼性と安定性を特徴とする200シリーズは、変化する周囲条件で非常に安定した性能を発揮します。 エラストマーシールの幅広い選択肢により、この流量コントローラは大部分のガスと互換性があります。


HFM-205 / HFC-207メータおよびコントローラの流量範囲は0〜1000slm、0〜2500slmです。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成され、常時開または常閉のバルブで構成できます。 フルスケールの範囲は、エンドユーザーによって指定されます。 NISTトレーサビリティ校正証明書は標準です。 HFM-205 / HFC-207は、フィッティングとエラストマーのオプションをフル装備しており、幅広い高流量用途に対応しています。

 


±(1% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

フレームスプレー

漏洩検査

航空宇宙

 

HFM-205 Meter

HFC-207 Controller

​Range 
(User Selectable)

0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)

0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)

Accuracy

+ 1.0% of full scale

+ 1.0% of full scale

​Repeatability

+ 0.05% of full scale

+ 0.05% of full scale

Maximum Working Pressure

500 PSIG

​​500 PSIG

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

4​ - 20 mA I.O, 0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC / 4 - 20 mA I/O

Fitting Options

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread

Elastomer Seal Options

Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene

​Connector (+/- 15 VDC)
Connector (+24 VDC)

​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

​15-pin subminiature D
9-pin subminiature D

Power Requirements (+/- 15 V)
Power Requirements (+24 V)

​​+(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 Watt)
(14-32) VDC (<1.9 Watt)

​​+(14 - 16) VDC @ +​ 60 mA / -185 mA (<3 Watt)
(14-32) VDC (<3 Watt)

Wetted Materials

​302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton®

​​302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton®, Kalrez® (Valve Seat)

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター