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材料評価

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You are here:   Home物質材料微量ガス・オンライン分析超微量・窒素ガス LD8000 PLUS

超微量・窒素ガス・オンライン分析

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LD8000 PLUS

超微量PPB窒素ガス・オンライン分析、超純度アルゴンまたはヘリウム


LD8000 Plusは、超純度アルゴンまたはヘリウムガス分析用に最先端技術で設計されています。そのインテグレートされたPPBレベルのサブシステムで、希少な性能は達成することができます。今日、ppbレベルの超微量窒素オンライン分析は、ガスクロマトグラフを必要とせずに可能になりました。またこのコンパクトなデザインは、あらゆる産業や研究実験室における設置のため、それは非常に魅力的です。

主に半導体業界における超純度ガス、低温空気分離プラント、ガスボンベ充填時の精製ガス品質管理に利用されます。分析されるガス(ヘリウムまたはアルゴン)は検出チャンバを通過すると、高周波発生器によって、二つの電極の間に作成された強い電磁場に持ち込まれます。これらの条件下では、それは発光現象の中心となる特性は、チャンバを通過する初期の気体の任意の異元素により修飾されます。干渉フィルタは、窒素からのスペクトル線を分離するために使用されます。フィルタ光度は、その後、電位計によって光電セルを使用して電流に変換し、増幅されます。作成された張力は(アルゴンまたはヘリウム)中の窒素濃度のレベルに比例します。

 

特 徴:


•デューティ・サイクル制御システムに基づいた設計された独自のプラズマ発光検出器

•サブPPBシステムを一体化

•ブートローダーイーサネット経由でソフトウェアの更新を統合

•幅広い測定範囲

•標準で4-20mA出力

•範囲識別リレー

•メンテナンスフリー

•バイパスサンプル流制御は、高純度を保証するために

•低サンプル消費量

•小型3Uキャビネット

・オプションのゼロガスキャリブレーションフリーシステム


 


 

%からPPBレベルまで 広域な測定範囲


この特許出願済のPEDは、ユニークな優れた性能を持っています。同じ検出器を用い%からPPBレベルまでの幅広い測定範囲を有しています。それは今までに誰も達成できなかった安定性、感度、および精度を、このPEDの技術にもたらします。


 

アプリケーション:

 

•空気分離ユニット

•特殊ガス研究所

•プロセス制御

•アルゴン精製プラント

•スチール・インダストリーズ

•化学プラント

•ヘリウム液化プラント

•ガス管理システム

•半導体製造

 

 

THE LD8000 PLUS SPECIFICATION

DETECTOR TYPE

· Plasma Emission Detector design based on a Duty Cycle Controlled System. Sub ppb system integrated.

RANGE

· 0 – 100 : resolution 0.1 ppb

· 0 – 500 : resolution 1 ppb

· 0 – 5000 : resolution to 1 ppb

· other range possible

REPEATABILITY

· < 0.2% of range used

ACCURANCY

· Better than ± 0.5% of range used

STANDARD FEATURES

· Manual or autoranging (user selectable)

· Microprocessor controlled

· 5.6'' TFT intelligent LCD module with Touch Screen

· Self diagnosis system with auto-resolve alarm

· 4-20 mA isolated output

· Alarm Historic

· Safe calibration procedure to avoid any bad calibration

· Digital ouputs for remote monitoring: (all dry relay contacts)

o System status (1 output)

o Range in use (3 output)

o Calibration in use (1 output)

OPTIONS

· Serial port: RS-232 / 422 / 485 / Profibus

· 2 alarm outputs (user programmable set point)

GAS CONNECTIONS

· Sample: 1/8'' face seal fittings

· Vent: 1/8'' compression fitting

CALIBRATION GAS

· Zero: LDP1000 purified gas (Getter)

· Span: 3 to 4 ppm N2/Ar

SAMPLE FLOW REQUIREMENTS

· 15 to 200 sccm

RECOMMENDED MAXIMUM OPERATING PRESSURE

· 20 PSIG (689 kPAG)

RECOMMENDED MINIMUM OPERATING PRESSURE

· 10 PSIG (28 kPAG)

OPERATING TEMPERATURE

· 10°C to 45°C (must be stable)

SUPPLY

· 115 VAC, 50 – 60 Hz or 220 VAC, 50 – 60 Hz

POWER CONSUMPTION

· Maximum 70 watts

DRIFT

· < ± 0.5% of range

WEIGHT

· 37 lbs (17 kg)

 

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター